仪器名称：超高真空镀膜机-超导结制造设备

英文名称：Vacuum coating-superconducting junction

所属单位：西华师范大学

原值：79.000000万元

产地国别：中国

启用日期：2024-12-06 00:00:00

主要技术指标：1、工作真空度≤1x10^-1Pa~10Pa,极限真空≤6×10^-6Pa，关机12小时后真空度≤1Pa。2、真空镀膜室内腔内径≥400mm×高350mm，氧化室室内腔内径内Φ200×H220，样品尺寸≤2英寸。3、三个磁 控溅射靶；四个磁控溅射靶，复合分子抽气泵+机械泵。4、磁控溅射，兼射频及直流磁控溅射功能。

主要功能：各种金属非和金属材料真空镀膜，等离子表面处理

操作流程/视频：

样品前处理注意事项：

预约信息：状态（正常）

主要学科领域：物理学

运行状态：正常

参考收费标准：面议

安放地址：四川-南充-顺庆区四川省南充市顺庆区师大路1号西华师范大学物理与天文学院