仪器名称：超高真空多功能磁控溅射系统

英文名称：

所属单位：西南科技大学

原值：50.500000万元

产地国别：中国

启用日期：2008-04-01 00:00:00

主要技术指标：磁场范围大于15000 Oe 变温范围100K-800K

主要功能：1.生长各种金属和氧化物薄膜； 2.能实现多靶共溅射；

操作流程/视频：

样品前处理注意事项：

预约信息：状态（正常）

主要学科领域：材料科学

运行状态：故障频繁

参考收费标准：300元/小时

安放地址：四川-绵阳-涪城区青龙大道中段59号西南科技大学老区101教学楼