仪器名称：深能级瞬态谱仪

英文名称：Deep Level Transient Spectroscopy System

所属单位：四川大学

原值：123.900000万元

产地国别：德国

启用日期：2019-03-18 00:00:00

主要技术指标：分辨率：1*108 atoms/cm3；脉冲宽度：1μs-1000s；灵敏度：10-7；能量分辨率：10meV；发射率：10-3/s；能量精度：HT+/-3%

主要功能：半导体材料及器件缺陷测试及分析

操作流程/视频：

样品前处理注意事项：

预约信息：状态（正常）

主要学科领域：其他

运行状态：正常

参考收费标准：电话联系

安放地址：四川-成都-武侯区四川省成都市武侯区一环路南一段24号